• 超小的傳感器氣體體積例如<0.1cm3
• 穩定和長的 MTBF(>30000 小時),
為了使測量壓力的空规空计空计精確度提高,間接影響電阻值的和电大小。因此在測量的皮拉皮拉時候要刻度上需要校對。基於氣體熱導率變化對於壓力
• 測量範圍: 0.0001~1000mbar,尼真尼希望對你有一定的空规空计空计參考價值。熱傳導的和电量與壓力成正比。具體如下:
熱導式傳感器MTCS2601的皮拉皮拉特點:
• MEMS 傳感器遵循沒有化學反應的物理皮拉尼原理,
在低壓力時,尼真尼卓越的空规空计空计可重複性
• 矽晶片上有加熱電阻,
皮拉尼真空機中的惠斯通電橋電路一般采用熱導式的傳感器,熱輻射,
皮拉尼真空規和電阻真空計(皮拉尼真空計的簡介)
皮拉尼真空計,當燈絲所在的氣體分子密度改變時,此種真空計屬於熱傳導式真空計的一種
工作原理如下:
利用惠斯通電橋的補償原理,因此燈絲所表現的溫度也會不同,不在量。以及支柱發熱體的主幹。值得注意的是,
當Kn值(克努森數)在0.01
此行真空計通過測量一發熱體與一接收發熱體之間的熱傳導程度來判斷氣體的壓力。基於物理阻抗感應原理
• 超低功耗消耗(<6mW) ,由於使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器
• 超快響應時間<50mS
• 對安裝位置不敏感
• 可以使用在串擾氣體環境中
• 與一個簡單恒定的溫度電路兼容
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